ZMF-1700C系列真空箱式炉详细介绍

描述

本公司研发生产的ZMF-1700C真空箱式炉系列用于在1600℃下半导体器件、金属材料的热处理和还原 性烧结等工艺，也可用于产品的炭化试验。该炉采用电阻丝加热，PID

程序控温仪控制，温控仪可设定30段升温曲线、PID控制参数自整定、并具有断 偶、超温报警保护等功能。炉体采用超轻质高铝纤维材料，具有热容小、温度升降控制灵活、节能等特点，设备可根据真空度的需要分别选用机械泵或真空机组， 非常适合于试验和小批量生产之用。

 一、工艺参数

         设备型号：ZMF-1700C

         温度：1700℃

         使用温度：≤1600℃

         炉膛材料： 氧化铝、高铝纤维制品

         热电偶类型： K型热热偶 。

         控温精度：±1℃， 30段可编程控温，PID参数自整定，触摸屏控制。

         加热元件：电阻丝

         冷态极限真空：≤500Pa

         外形参考尺寸：按实际尺寸为准

         外观处理：主体电脑灰色

         供电电源：380V

二、热工系统

ZMF-1700C高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率 和比热容，***了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研 究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。

三、温度控制系统

ZMF-1700C高温真空电阻炉温度控制系统采用***的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用优质智能程序温度调节仪控温，电力调制器控制；负载采用小 电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预， 可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、 欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采 优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。

四、真空系统 （选配）

  ZMF-1700C高温真空电阻炉的真空系统由真空加热室、旋片式机械泵及冷却罐组成，系统冷态极限真空度小于500Pa,一级机械泵。真空加热室由双层钢板 焊成圆桶形密封套，内装炉膛和端盖，为设备提供优良的真空加热环境；同时利用钢板夹层隔绝热量，降低了炉体表面温度，防止灼伤。大抽速式旋片式机械泵 可以在很短的时间内使系统达到要求的真空范围，***了产品质量。密封元件则 采用优质硅橡胶密封材料密封外带循环水冷却，既提高了密封效果，又防止了在 氧化气氛下硅橡胶的加速老化，因此特别适合做高温真空气氛设备的密封使用， 提高了设备的寿命和使用周期，减少了因密封元件老化而产生的气密泄漏。 炉膛可配置保护性气体，通过两或三次的抽真空通气氛，使炉膛内气氛置换充分，维持炉膛在升温的过程中有一个稳定的气氛环境。 

技术参数：

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10%  50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：10m?/h

极限真空：4X10^-2Pa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×650mm

五、工作环境

1、供电：380V

2、加热功率：约5Kw