前端预热双温区CVD设备详细介绍

主要技术指标： 

双温区开启式真空管式炉

BTF-1200C-II  dia50mm

设备特点：

1200℃开启式真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便，操作简捷，使用者可直接将密封腔体移出炉体，加快降温过程，透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头，减去了取放料时的繁琐操作， 炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛，温场均匀，内外温差可控制在3度左右，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启。广泛应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。

技术参数：

炉管尺寸：Φ50*1200mm

加热元件：电阻丝
加热区长度：200+200mm
恒温区长度：100+100mm
工作温度≤1100℃
温度：1200℃
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃

推荐升温速度：15℃/ min
炉门结构：开启式
工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率：3KW

外型尺寸：590×380×500 mm

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）端口可按实际使用扩展。

预热器BTF-400C

工作温度：350℃

温度：400℃

最快升温速率：30℃/min

推荐升温速率：10℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220 V

额定功率：800W

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

两路供气系统 GMF-2Z   

供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制。

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

标准量程（N2)： 500sccm、500sccm（量程可选）

H2、Ar、N2质量流量计选用S49 32/MT系列，指标如下：

准确度：±1.5%

线性：±1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围：(50 ～ 300) kPa(D)，(100～300)kPa(D)(10L/min)

压力：3MPa

接口：Φ6,1/4&＃39;&＃39;

显示：液晶屏显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

低真空机组 VAU-02  

VAU-02是一套低真空机组，内部安装BSV-10机械泵1台，电阻真空计1套，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

技术参数：

工作环境：5℃～40℃

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：10m?/h

极限真空：5X10-1Pa

工作压力范围为1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐压值为0.03MPa

容油量：1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25